英國Ossila-Spin Coater

簡要描述：英國Ossila-Spin Coater操作簡單，方便實用，旋涂均勻，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，為實驗室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng)新設(shè)計的非真空卡盤式旋涂吸盤，無需真空泵或充氮氣，就能達到很好的旋涂效果。可對大小不同規(guī)格的基材都可進行旋涂，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達到較好的旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象，影響涂層的均勻性。

產(chǎn)品型號：L20001
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-10-25
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詳細介紹

品牌	Ossila/歐西拉	價格區(qū)間	5萬-10萬
產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

英國Ossila-Spin Coater

Spin Coater技術(shù)性能

可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用，基座面積僅為22.5x17cm。
無需真空泵、充氮氣，節(jié)省保養(yǎng)維護費用。
創(chuàng)新設(shè)計非真空卡盤式吸盤，基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當(dāng)位置，無需抽真空，就能達到較好的旋涂效果。
耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行。
采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個用戶自定義協(xié)議，每個協(xié)議下可設(shè)置10個程序，每個程序多50個步驟。
內(nèi)置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。
電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證運行安全。
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<2%。
轉(zhuǎn)速：120-6000rpm。
定時器：1-1000秒。
電源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
尺寸：220x170x132mm。

　　Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機由樣品臺、滴膠裝置和空心電動機組成，其工作原理是，通過在樣品臺上產(chǎn)生負壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上，光刻膠液滴注在基底材料的表面，通過準確控制電動機的旋轉(zhuǎn)速度，以此來改變離心力的大小，同時通過控制膠液的流量來達到制備薄膜所需的厚度。

Spin Coater

　　勻膠機在旋涂過程中會出現(xiàn)邊緣效應(yīng)，這是由于在旋涂的過程中溶劑的揮發(fā)導(dǎo)致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大，從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些，因此基片邊緣需要經(jīng)過去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學(xué)去邊處理，以及基片正面的光學(xué)去邊處理。

　　Spin Coater動態(tài)滴膠是指基片在旋轉(zhuǎn)的過程中將光刻膠滴注到基片的中心位置，通常旋轉(zhuǎn)速度不宜過快( 500/min),動態(tài)滴膠可以在保證快速地在基片表面將光刻膠鋪開的前提下，減少針孔的產(chǎn)生，也可減少光刻膠的使用量。

左：普通旋涂機上有真空密封環(huán)形印跡右：Ossila非真空式旋涂效果

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